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Ethylene
产品规格
纯度：99.999%
包装规格
钢瓶规格：47L
阀门：DISS724/CGA350
充装量：13-14KG
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MSDS COA
产品应用

主要应用于半导体行业无定形碳掩膜的制备中，采用等离子体增强化学气相沉积工艺，可以形成稳定的无定形碳层膜，构建可用于光刻工艺的碳硬掩膜。

理化指标
分子量：
28
分子式：
C2H4
熔点：
- 169℃
沸点：
- 104℃
相对密度（空气=1）：
0.97
水中溶解度：
3.5g/L (25℃)
服务热线
0599-8333575
  • Email：sale@fudoumat.com
  • 网址：www.fudoumat.com
  • 地址：福建省邵武市吴家塘镇金沙大道19号
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