电子级丙烯由于含有碳碳双键，容易发生化学反应生成另一种物质，进而在衬底表面沉积，主要用 作外延、沉积气体；作为成膜气体，主要作用是非晶硅碳生长，丙烯可以在硅片等半导体器件上形成无 定形碳，可以粘合光刻胶，同时辅助保护掩膜下层结构受到刻蚀，是半导体制造用的一种关键气体。
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