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Perfluorobuta-1,3-diene
产品规格
纯度:99.99%
包装规格
钢瓶规格:47L
阀门:DISS716
充装量:50KG
产品应用

主要应用于大规模集成电路先进制程的刻蚀工艺,六氟丁二烯刻蚀速率更快、选择性和深宽比更高、环境更友好。


理化指标
分子量:
162.0
分子式:
C4F6
熔点:
- 132℃
沸点:
6-7℃
相对蒸汽密度(空气=1):
1.55
水中溶解度:
230.5mg/L (20℃)

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