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Nitrogen Trifluoride
产品规格
99.9999%
包装规格
钢瓶规格:47L
阀门:CGA670
充装量:KG
产品应用

主要用于化学气相淀积(CVD)装置的清洗、等离子体工艺的蚀刻气体。

理化指标
分子量:
71
分子式:
NF3
熔点:
- 207℃
沸点:
- 129℃
相对密度(空气=1):
2.45
水中溶解度:
不溶于水

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