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Methane
产品规格
99.999%
包装规格
钢瓶规格：47L
阀门：CGA350
充装量：KG
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产品应用

应用在半导体的干法蚀刻、等离子蚀刻、化学气相沉积等工艺中。

理化指标
分子量：
16
分子式：
CH4
熔点：
- 183℃
沸点：
- 161℃
相对密度（空气=1）：
0.55
水中溶解度：
微溶于水
服务热线
0599-8333575
  • Email：sale@fudoumat.com
  • 网址：www.fudoumat.com
  • 地址：福建省邵武市吴家塘镇金沙大道19号
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