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Silicon Tetrafluoride
产品规格
99.9%-99.999%
包装规格
钢瓶规格:47L
阀门:CGA642
充装量:KG
产品应用

主要用于薄膜沉积与蚀刻工艺。

理化指标
分子量:
104
分子式:
SiF4
熔点:
- 90℃
沸点:
-86℃
相对密度(空气=1):
 3.6
水中溶解度:
 

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