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Sulfur Hexafluoride
产品规格
纯度:99.999%-99.9999%
包装规格
钢瓶规格:47L
阀门:DISS716/CGA580
充装量:50KG
产品应用

在半导体制造中,六氟化硫作为一种蚀刻气体被用于精细微加工过程。

理化指标
分子量:
146
分子式:
SF6
熔点:
- 64℃
沸点:
-50℃
相对密度(空气=1):
5.11
水中溶解度:
微溶于水

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