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Sulfur Hexafluoride
产品规格
纯度：99.999%-99.9999%
包装规格
钢瓶规格：47L
阀门：DISS716/CGA580
充装量：50KG
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产品应用

在半导体制造中，六氟化硫作为一种蚀刻气体被用于精细微加工过程。

理化指标
分子量：
146
分子式：
SF6
熔点：
- 64℃
沸点：
-50℃
相对密度（空气=1）：
5.11
水中溶解度：
微溶于水
服务热线
0599-8333575
  • Email：sale@fudoumat.com
  • 网址：www.fudoumat.com
  • 地址：福建省邵武市吴家塘镇金沙大道19号
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