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Difluoromethane
产品规格
纯度:99.999%
包装规格
钢瓶规格:47L
阀门:DISS716/CGA320
充装量:35KG
产品应用

用于半导体芯片制造过程中硅层的离子蚀刻,广泛应用在 14nm7nm以下的先进工艺制程。


理化指标
分子量:
52
分子式:
CH2F2
熔点:
- 51.6℃
沸点:
-136℃
相对密度(空气=1):

水中溶解度:
不溶于水

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