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Octafluorocyclobutane
产品规格
纯度:99.999%
包装规格
钢瓶规格:47L
阀门:CGA660
充装量:12.5MPa±0.5MPa
产品应用

可以用于半导体制造过程中的等离子体刻蚀和物理气相沉积等工艺。

理化指标
分子量:
200
分子式:
C4F8
熔点:
- 41.4℃
沸点:
-6℃
相对密度(空气=1):
7.0
水中溶解度:
NA

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