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Boron Trichloride
产品规格
纯度:99.999%
包装规格
钢瓶规格:47L
阀门:DISS634/CGA660
充装量:50KG
产品应用

用于电子工业硅半导体器件和集成电路中扩散、掺杂、干法蚀刻等工艺。

理化指标
分子量:
117
分子式:
BCl3
熔点:
- 107℃
沸点:
12.5℃
相对密度(空气=1):
4.5
水中溶解度:
NA

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